帶駐留時間約束的單臂組合設備的暫態(tài)分析.pdf

1、半導體芯片制造產業(yè)是信息技術產業(yè)群的基礎和核心，它是一個技術尖端及高附加值的產業(yè)，對推動國民經濟的發(fā)展有重大的戰(zhàn)略意義。建立在半導體技術進步基礎上的全球信息化、網絡化和知識經濟的飛速發(fā)展，使其成為衡量國家經濟發(fā)展和科技進步的重要標志，使各國都把它視為國家發(fā)展的骨干產業(yè)。而隨著晶圓直徑的越來越大，加工工藝也越來越復雜，越來越多的采用自動組合裝置進行大直徑晶圓的加工。但是由于組合設備中加工模塊之間沒有緩沖空間，使得半導體芯片制造系統(tǒng)生產調度

2、的控制非常復雜。先進的調度控制方法對于提高半導體芯片制造系統(tǒng)效率、降低成本、提高質量可做出重大貢獻。為了對帶駐留時間約束的單臂組合設備的調度問題做進一步研究來獲得更優(yōu)的生產策略，本文將深入研究它。
　　 在大部分的研究中，組合設備的調度是基于earliest調度策略的。但是，這些研究是沒有考慮活動時間波動的。然而，在實際的生產系統(tǒng)中，加工模塊的加工活動和機械手的活動都是隨機波動的。因此考慮活動時間波動時非常必要的。為了盡可能多的

3、消除活動時間波動對系統(tǒng)的影響，機械手的等待時間可以用來抵消活動的波動。這樣就非常有必要分析基于earliest調度策略時，機械手的等待時間是怎么分布的。因此本文研究了組合設備從初始狀態(tài)進入到穩(wěn)態(tài)的過程即暫態(tài)過程。通過暫態(tài)過程分析我們可以得到系統(tǒng)的等待時間分布規(guī)律。從而判定基于earliest調度策略調度系統(tǒng)是否適合帶駐留時間約束和活動時間波動的單臂組合設備。這就促使我們分析帶駐留時間約束和活動時間波動的單臂組合設備的暫態(tài)過程。
　

4、　 本文首先基于Petri網模型描述了帶駐留時間約束的單臂組合設備的暫態(tài)以及穩(wěn)態(tài)時的系統(tǒng)的動態(tài)運行過程。之后分析了系統(tǒng)的時間方面的一些性質?；谶@些性質，提出了兩種調度策略，即基于earliest調度策略和基于控制機械手等待時間的調度策略。對于調度系統(tǒng)基于earliest調度策略，系統(tǒng)運行至穩(wěn)態(tài)后，我們給出了機械手的等待時間的分布情況，并用解析表達式給出。之后，給出了基于控制機械手等待時間的調度策略時機械手的等待時間分配方法。并且發(fā)現(xiàn)