應(yīng)用于高壓電柜的聲表面波溫度傳感系統(tǒng).pdf

1、高壓電柜是電網(wǎng)中的一種重要設(shè)備，長(zhǎng)期工作于高溫高壓的惡劣環(huán)境中，需要一種可靠且經(jīng)濟(jì)的實(shí)時(shí)測(cè)溫系統(tǒng)以保障設(shè)備的正常運(yùn)行，而聲表面波溫度傳感器具有的無(wú)源無(wú)線特性恰好適應(yīng)了這種測(cè)溫需求。論文以聲表面波技術(shù)為基礎(chǔ)，設(shè)計(jì)了一款諧振器型聲表面波溫度傳感器，能夠滿足高壓電柜的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)溫，并對(duì)溫度傳感器制作過(guò)程中可能遇到的實(shí)際工藝問(wèn)題，提出了可行的解決方法，實(shí)現(xiàn)了該款溫度傳感器的批量生產(chǎn)。
　　論文研究了壓電材料的壓電特性，并根據(jù)聲表面波溫度傳感器

2、對(duì)壓電材料的要求，對(duì)四種常見(jiàn)的壓電材料進(jìn)行了比較，包括頻率溫度系數(shù)以及用四種材料制作的溫度傳感器對(duì)應(yīng)的頻率溫度曲線和回波信號(hào)，選擇YX石英作為制作聲表面波溫度傳感器的壓電材料。
　　論文對(duì)諧振器型聲表面波溫度傳感器的版圖設(shè)計(jì)過(guò)程進(jìn)行了研究，并根據(jù)實(shí)際需求優(yōu)化了設(shè)計(jì)方案，減少了寄生響應(yīng)，提高了器件性能。
　　論文研究了諧振器型聲表面波溫度傳感器的制作工藝，對(duì)各道工藝中的工藝流程和工藝難點(diǎn)進(jìn)行了簡(jiǎn)單分析，并針對(duì)工藝過(guò)程中碰到的問(wèn)

3、題，提出可行的解決方法:從蒸發(fā)工藝和清洗工藝兩方面入手，以解決基片表面鋁膜粘附性差的問(wèn)題;通過(guò)在蒸發(fā)臺(tái)合適位置加裝調(diào)整板以解決蒸發(fā)工藝中膜厚均勻性偏低的問(wèn)題;通過(guò)在制作完成的芯片上涂敷SiO2膜保護(hù)芯片，解決器件制作過(guò)程中工藝本身或工藝環(huán)境對(duì)芯片造成的損壞;從壓焊材料的選擇到壓焊參數(shù)的調(diào)整，確定了單端對(duì)諧振器型聲表面波溫度傳感器壓絲工藝的工藝條件，并選擇了壓絲工藝中兩種典型的失效模式進(jìn)行分析，提出了可行的解決方法。
　　論文結(jié)合閱