石英各向異性濕法刻蝕特性及模擬研究.pdf

1、濕法刻蝕是石英微結構加工的重要工藝。論文研究了石英各向異性濕法刻蝕特性和形貌預測方法?；趲缀文M的思想，提出了晶體濕法刻蝕形貌的演化規(guī)則，運用LevelSet方法開發(fā)了晶體各向異性濕法刻蝕三維形貌數(shù)值模擬程序。通過對Z切石英晶片刻蝕形貌的研究，表明了提出的形貌演化規(guī)則的可行性，并且驗證了開發(fā)的三維形貌模擬程序的有效性和準確性。在此基礎上，探索了如何合理設計掩膜以獲得特定的微結構。論文主要內容如下：
　　首先分析了晶體各向異性濕法

2、刻蝕典型形貌演化的幾何規(guī)則，提出刻蝕形貌的演化跟鉆蝕速率直接相關。凹角處鉆蝕速率慢面占主導地位，凸角處鉆蝕速率快面占主導地位?？偨Y了晶體復雜濕法刻蝕形貌，如凹角、凸角處的特征晶面預測的一般方法:圓角化、分段特征晶面分析、晶面選擇。
　　基于Level Set方法，在MATLAB環(huán)境下，開發(fā)了適用于多晶體、多切向、任意掩膜形狀的高精度濕法刻蝕三維形貌數(shù)值模擬程序。將刻蝕形貌的三維數(shù)值模擬結果和實驗SEM圖進行了對比分析，表明開發(fā)的算