面向LED散熱的微平板熱管的制造及測試.pdf

1、LED照明技術(shù)也被稱為“第四代照明技術(shù)”，具有節(jié)能、環(huán)保、壽命長和體積小的特點，被廣泛用于照明、背光源、信號指示、裝飾和屏幕顯示等領(lǐng)域，具有廣闊的發(fā)展前景。世界各科技大國均對LED技術(shù)的研究展開了激烈的技術(shù)競賽，我國已將LED照明技術(shù)的研究列入十二五規(guī)劃、中長期科技規(guī)劃等國家規(guī)劃。LED芯片的輸入功率70％會轉(zhuǎn)變?yōu)闊崃?，所以大功率LED芯片容易產(chǎn)生熱量積聚，造成芯片結(jié)溫過高導(dǎo)致光衰和壽命縮短。因此，目前迫切需要設(shè)計一種簡單有效的散熱技術(shù)

2、，推動LED技術(shù)的發(fā)展。熱管基于相變傳熱機理，因此相比普通的導(dǎo)熱材料具有更強的導(dǎo)熱能力，是高效的被動導(dǎo)熱元件，其中微平板熱管就是在電子技術(shù)的不斷集成化的發(fā)展下催生出來的新型的熱管技術(shù)，可以有效解決LED的熱量積聚導(dǎo)致其壽命縮短的問題。
　　本論文針對10W的LED模組對微平板熱管進行設(shè)計。采用硅片作為微平板熱管的基板，Pyrex7740玻璃作為上蓋板。在硅基板上刻蝕微溝道為工質(zhì)的回流提供毛細牽引力，在玻璃蓋板上腐蝕空腔作為工質(zhì)蒸汽

3、的流通通道。采用靜電鍵合工藝將硅基板與Pyrex7740玻璃上蓋板鍵合得到微平板熱管。選擇去離子水作為微平板熱管的工質(zhì)，設(shè)計搭建了灌封系統(tǒng)對微平板熱管進行工質(zhì)灌注與密封。
　　針對制作的微平板熱管確定當(dāng)量導(dǎo)熱系數(shù)為評價其導(dǎo)熱性能的標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)當(dāng)量導(dǎo)熱系數(shù)的計算公式，確定了需要測量的參數(shù):微平板熱管的輸入功率、蒸發(fā)段的溫度和冷凝段的溫度。設(shè)計搭建微平板熱管的測試系統(tǒng)，為了減少實驗誤差，將微平板熱管的整個測試過程放在低真空環(huán)境中進行。該

4、測試系統(tǒng)使用熱流密度傳感器來測量微平板熱管的輸入功率，使用熱電偶采集蒸發(fā)段和冷凝段的溫度，并對熱電偶進行實驗校準(zhǔn)。
　　制定實驗步驟，利用搭建的測試系統(tǒng)對制作的微平板熱管進行測試實驗。對得到的實驗數(shù)據(jù)進行處理得到微平板熱管的溫升曲線和當(dāng)量導(dǎo)熱系數(shù)，對相同尺寸的硅片進行測試作為對比實驗。利用測試系統(tǒng)中的圖像采集功能記錄微平板熱管工作時工質(zhì)的運動圖像。根據(jù)測試數(shù)據(jù)和采集的圖像討論微平板熱管的溝道形狀、溝道長度、蒸汽腔深度對微平板熱管導(dǎo)