光刻機雙工件臺系統(tǒng)的可靠性分配和預計.pdf

1、光刻機是大型集成電路裝備中的核心設備，能否獨立研制高端光刻機直接體現(xiàn)了一個國家的制造技術水平及能力。雙工件臺系統(tǒng)是光刻機的關鍵子系統(tǒng)，其可靠性高低直接決定著光刻機的可靠性水平。事實表明，缺乏性能可靠的精密工件臺已成為限制我國光刻機研制水平發(fā)展的重要因素。如此看來，提高國產精密工件臺的可靠性水平已是迫在眉睫，針對這一現(xiàn)狀，本文重點研究了雙工件臺系統(tǒng)的可靠性分配和預計技術，主要開展了以下幾個方面的研究工作：
　?。?）結合可靠性工作的

2、特點對雙工件臺系統(tǒng)進行層次劃分，明確其各部分組成及功能，為可靠性分配與預計工作的進一步展開打下基礎。
　?。?）分析雙工件臺系統(tǒng)可靠性分配過程中存在的問題，結合其自身特點，建立可靠性分配流程；對比工程中常用的可靠性分配方法，說明各方法的優(yōu)劣性；針對雙工件臺系統(tǒng)分配過程中因缺乏相關可靠性數據而導致主觀不確定性過強的缺點，提出一種綜合考慮多種權重的可靠性分配方法對其進行可靠性分配，該方法在層次分析法的基礎上，引入三角模糊數描述專家評判