硅微通道陣列紅外發(fā)射特性研究.pdf_第1頁
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1、目前，市面上可以買到幾種微型熱輻射源，但由于它們的發(fā)射率小而無法和理想的黑體熱輻射源相比。增大表面的粗糙程度會(huì)得到較高的發(fā)射率，這為研制一種新型的微紅外輻射源提供了一個(gè)途徑。
　　本文設(shè)計(jì)了一種新型的硅微通道陣列結(jié)構(gòu)紅外光源的窗口，和以往MEMS紅外光源不同的是引入二維規(guī)則的孔陣列，這種特殊的結(jié)構(gòu)使窗口的的發(fā)射率增大。以n(100)硅為襯底，通過光電化學(xué)腐蝕的方法制備四種不同孔徑的紅外發(fā)射窗口，利用紅外分光光度計(jì)測(cè)量發(fā)射窗口的反射

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