基于厚膜技術的不銹鋼壓力傳感器工藝研究及性能優(yōu)化.pdf

1、早在40年前，研究人員已經(jīng)開始了對厚膜壓力傳感器相關技術的研究，在此期間，人們對于該技術的理論研究越來越深入，厚膜壓力傳感器在各個領域中的應用也越來越廣泛，其中，汽車電子領域是厚膜壓力傳感器最重要的領域之一。早期的厚膜壓力傳感器主要基于96％Al2O3陶瓷基板，這種壓力傳感器一直沿用至今；隨著厚膜漿料系統(tǒng)的發(fā)展，國外已經(jīng)有公司提出了基于金屬基板的厚膜壓力傳感器，但是，由于嚴格的專利保護，外界對其相關信息知之甚少；國內很少有研究機構和企業(yè)

2、對此類厚膜金屬壓力傳感器展開研究。本論文的相關研究工作是在飛恩微電子有限公司的支持下進行。
　　本論文在充分研究厚膜漿料系統(tǒng)的特性、厚膜壓力傳感器的工作原理和制作工藝的基礎上，通過理論計算、ABAQUS有限元仿真和性能測試等方法，對厚膜壓力傳感器的設計和工藝流程進行了深入的研究和優(yōu)化；；并且對壓力傳感器的性能進行了分析。本論文主要研究了一下五個方面的問題：
　?。?）在厚膜壓力傳感器的設計方面：對厚膜壓力傳感器的工作原理進行

3、了較為深入的研究，包括厚膜電阻的壓阻效應、惠斯通電橋原理、小撓度理論。
　?。?）在厚膜壓力傳感器的制作工藝方面：對壓力傳感器制作工藝流程的設計，其主要包括先進絲網(wǎng)印刷和厚膜漿料燒結時的溫度控制。
　?。?）在厚膜介質層與金屬基板的兼容性方面：對厚膜介質層與金屬基板的結合界面進行了分析測試，研究不同膜層間的結合特性。
　?。?）在厚膜電阻的設置方面：通過ABAQUS模擬金屬膜片應力應變分布，計算厚膜電阻最佳布置方式，并