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文檔簡介
1、絕緣柵雙極晶體管IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)由于結合了MOSFET和BJT各自的優(yōu)點,表現(xiàn)出開關速度高、飽和壓降低和可耐高壓、大電流等優(yōu)良特性,是一種用途十分廣泛的半導體功率器件,許多領域已經逐步取代了電力晶體管(GTR)和電力場效應晶體管(MOSFET)。目前,國內對IGBT產品的需求量日趨增多,但國內暫時還沒有獨立的生產廠家,所需的IGBT產品主要依賴進口,因此,開發(fā)和研制具有自主知
2、識產權的性能優(yōu)良的IGBT器件已成為迫切需要,本文鑒于此背景,努力和國內同行一道投入該領域中進行積極探索。 本文首先對IGBT的工作原理進行了簡述,接著又簡單介紹了半導體器件計算機模擬的相關知識。在對目前較為流行的IGBT器件結構載流子存儲型槽柵IGBT(CSTBT, Carrier-Stored Trench IGBT)分析的基礎上,提出了一種新型的功率半導體器件FH-TIGBT(Full Hole-barrier Layer
3、 Trench IGBT),在槽柵下新增的N型空穴阻擋層使得器件具有更低的飽和壓降和抗短路能力,同時具有CSTBT的其他優(yōu)點。本文在工藝上仿真實現(xiàn)了新型結構的IGBT器件,又進一步對其進行了器件模擬,仿真結果驗證了其性能上的優(yōu)越性。 此外本文還建立了FH-TIGBT的等效電路模型。在沒有相應IGBT的SPICE模型庫的前提下,利用等效的電路模型能更方便地實現(xiàn)相關電路的設計。通過合理的選擇等效電路模型以及已知的器件特性曲線和有效的
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