基于VI的載流子遷移率測試系統(tǒng)的研制.pdf_第1頁
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1、XTabDrag:入學日期入學日期2008年9月答辯日期答辯日期2011年6月專業(yè)專業(yè)材料物理與化學所在學院所在學院理學院導師姓名導師姓名邱桂明副教授姓名姓名湯震學號學號10808094英文題目英文題目DevelopmentofMeasurementSystemfgeCarrierMobilityBasedonVirtualInstrument題目基于VI的載流子遷移率測試系統(tǒng)的研制題目基于VI的載流子遷移率測試系統(tǒng)的研制碩士學位論文碩

2、士學位論文中文摘要中文摘要載流子的遷移率是半導體材料的重要特性參數(shù)。通過對遷移率的測量，可以準確掌握不同材料的電輸運特性。因此，方便、準確地測量半導體載流子的遷移率，對半導體的研究和生產(chǎn)都具有重要的意義。隨著科學技術的進步，出現(xiàn)了新的測試儀器——虛擬儀器。虛擬儀器是基于計算機的測試平臺，具有交互式的圖形界面。由計算機、應用軟件和硬件組成，通過軟件把計算機硬件資源和儀器硬件有機融為一體。本文介紹了虛擬儀器的發(fā)展和LabVIEW相關知識。本

3、文分析了幾種傳統(tǒng)的測量半導體載流子遷移率的方法和儀器。針對傳統(tǒng)方法和儀器存在的測試條件苛刻、精度不高、設備昂貴等缺點，文中根據(jù)線性增壓載流子瞬態(tài)譜這一原理，以LabVIEW為平臺設計了一種半導體載流子遷移率測試系統(tǒng)。詳細介紹了該系統(tǒng)各部分的硬件組成，詳細論述了系統(tǒng)軟件的各功能模塊的設計和實現(xiàn)方法，其中包括線性增壓控制模塊、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)存儲與回放等功能模塊。最后，對該半導體載流子遷移率測試系統(tǒng)進行了調(diào)試和測試實驗，并對測試結果進行了分析

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