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文檔簡介
1、隨著科學技術的不斷進步以及工業(yè)工程的發(fā)展，微定位技術已成為科研人員從宏觀領域向微觀領域擴展研究的一項關鍵技術。壓電陶瓷材料憑借位移分辨力高、不產(chǎn)熱、不易受電磁干擾等優(yōu)點，已成為微定位系統(tǒng)中理想的驅(qū)動元件。而驅(qū)動電源是驅(qū)動壓電陶瓷工作的關鍵部分，本文針對壓電陶瓷驅(qū)動電源進行了研究和設計。
本文研究的內(nèi)容主要有以下三個方面。
(1)建模研究壓電陶瓷的驅(qū)動特性，歸納出一種預測壓電陶瓷驅(qū)動特性（電壓-位移曲線）的方法;在此基
2、礎上，研究了一種補償壓電陶瓷遲滯的算法。實驗證明，該預測方法與補償算法均具有較高可行性和實用性。
(2)設計并制作了一套壓電陶瓷驅(qū)動電源，可輸出精確的直流電壓，其紋波、線性度、穩(wěn)定性、重復性等都達到設計要求;為了提高驅(qū)動壓電陶瓷負載時的頻率與響應速度，電源還具有輸出功率放大功能。論文完成了電路設計、器件選型和電源制作，并編制了電源控制軟件。電源具有與PC機通過通信接口進行通信并發(fā)送控制指令的功能。軟件部分包括微處理器初始化、中
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