大直徑直拉式單晶爐等徑控制系統(tǒng)的工程應用研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、近些年來太陽能光伏行業(yè)快速發(fā)展，單晶硅被大量應用在太陽能領域。目前，單晶生產設備都已經比較成熟，但還是存在一些需要改進的方面。所以，單晶設備的優(yōu)化不僅可以提升單晶硅的品質，而且可以降低單晶硅的成本，意義非常重要。
　　目前，市場對于單晶產品的直徑尺寸要求越來越大。本文針對大直徑直拉式單晶爐等徑控制系統(tǒng)的工程應用進行了研究，將控制系統(tǒng)的硬件和軟件進行了創(chuàng)新設計。文章首先簡介了直拉單晶爐的結構，然后敘述了單晶爐等徑控制的原理，之后結合

2、積累的經驗對控制系統(tǒng)進行了設計研究。硬件方面主要是對傳統(tǒng)的驅動方式進行了改進，并且引入CCD系統(tǒng)對直徑進行測量。軟件方面主要是采用了CANopen的現(xiàn)場總線模式，組成了數(shù)字化通信網絡，實現(xiàn)了信息處理的現(xiàn)場化。
　　等徑控制性能的優(yōu)劣直接關系到生產出的單晶硅產品的質量。拉晶過程中，單晶硅棒的直徑大小主要受到晶體拉速和溫度的影響。而拉速和溫度又以直徑為中心相互影響，傳統(tǒng)的PID控制在這方面具有局限性。因此，課題引入了內?？刂?，將內模控

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