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文檔簡介
1、YBa2Cu3O7-δ(YBCO)高溫超導薄膜憑借其優(yōu)異的物理性能，被認為是最有應用前景的高溫超導材料之一，不僅在強電領域具有誘人的前景，而且其在弱電領域已經實用化。利用YBCO薄膜制備的異質結構是制備超導量子干涉器件、超導計算機等微電子器件的基礎，在微波探測、集成電路、精密測量等很多方面都有非常廣闊的應用前景。
本文采用低氟溶膠-凝膠工藝制備YBCO薄膜，研究了Y2O3緩沖層對YBCO薄膜微結構以及超導性能的影響。Y2O3緩
2、沖層可以增強YBCO薄膜的外延生長特性，提高薄膜表面質量。同時，YBCO薄膜的超導性能也得到一定地提高，臨界轉變溫度達到91.8 K，臨界電流密度達到1.16 MA/cm2。通過研究不同厚度Y2O3緩沖層對YBCO薄膜的影響，發(fā)現(xiàn)當Y2O3薄膜厚度約為30 nm時，其增強效果更加明顯。
在此研究基礎上，采用相同工藝制備了結構為YBCO/Y2O3/YBCO的SIS型隧道異質結。構成SIS隧道異質結的超導層YBCO薄膜c軸生長取向
3、明顯，薄膜表面質量良好。對SIS型隧道異質結的進行超導電學性能測試，表現(xiàn)出明顯的直流約瑟夫森效應。臨界轉變溫度達到90 K，轉變寬度約為1K，臨界電流密度達到1.07 MA/cm2。
最后，經過多次“提拉成膜—熱處理”過程制備了5層和7層YBCO/Y2O3周期結構。通過XRD和SEM分析，兩種結構的YBCO薄膜厚度均勻，(00l)生長取向明顯，薄膜表面質量良好，但存在一定a軸生長取向的晶粒。5層YBCO/Y2O3周期結構的臨界
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