大行程壓電微動臺驅(qū)動控制系統(tǒng)的研究.pdf

1、微驅(qū)動、定位技術(shù)是當(dāng)今世界各國研究的熱點(diǎn)問題，是納米測量及加工技術(shù)中的關(guān)鍵技術(shù)之一，而微位移致動器則是微驅(qū)動、定位系統(tǒng)中的重要組成部分。壓電陶瓷致動器是目前微位移技術(shù)中比較理想的驅(qū)動元件，它的出現(xiàn)開創(chuàng)了精度進(jìn)入納米級的新時代。 本文中研究的課題是大行程壓電微動臺的驅(qū)動控制系統(tǒng)，其主要內(nèi)容和創(chuàng)新點(diǎn)包括： 1、論文系統(tǒng)地介紹了壓電陶瓷的性能參數(shù)及壓電元件等內(nèi)容； 2、著重闡述了壓電微動臺的運(yùn)動原理、總體機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計、

2、驅(qū)動控制系統(tǒng)設(shè)計以及性能測試實(shí)驗(yàn)：結(jié)構(gòu)設(shè)計方面，采用平臺式結(jié)構(gòu)，增強(qiáng)了其實(shí)用性；變傳統(tǒng)單驅(qū)動器為雙驅(qū)動器結(jié)構(gòu)，采用新穎的根據(jù)尺蠖運(yùn)動(Inchwormmotion)原理改進(jìn)的“推—拉”接力運(yùn)動原理，配以適當(dāng)?shù)乃穆夫?qū)動信號，使壓電微動臺實(shí)現(xiàn)連續(xù)平穩(wěn)的運(yùn)動。系統(tǒng)控制方面，通過單片機(jī)系統(tǒng)產(chǎn)生四路信號，經(jīng)直流放大器放大后加載到壓電微動臺。控制程序采用C51軟件編程，以中斷方式實(shí)現(xiàn)波形控制。 3、對壓電陶瓷驅(qū)動器電源的作用原理、設(shè)計特點(diǎn)及