大行程壓電微動臺驅動控制系統(tǒng)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微驅動、定位技術是當今世界各國研究的熱點問題，是納米測量及加工技術中的關鍵技術之一，而微位移致動器則是微驅動、定位系統(tǒng)中的重要組成部分。壓電陶瓷致動器是目前微位移技術中比較理想的驅動元件，它的出現(xiàn)開創(chuàng)了精度進入納米級的新時代。 本文中研究的課題是大行程壓電微動臺的驅動控制系統(tǒng)，其主要內容和創(chuàng)新點包括： 1、論文系統(tǒng)地介紹了壓電陶瓷的性能參數(shù)及壓電元件等內容； 2、著重闡述了壓電微動臺的運動原理、總體機械結構設計、

2、驅動控制系統(tǒng)設計以及性能測試實驗：結構設計方面，采用平臺式結構，增強了其實用性；變傳統(tǒng)單驅動器為雙驅動器結構，采用新穎的根據(jù)尺蠖運動(Inchwormmotion)原理改進的“推—拉”接力運動原理，配以適當?shù)乃穆夫寗有盘枺箟弘娢优_實現(xiàn)連續(xù)平穩(wěn)的運動。系統(tǒng)控制方面，通過單片機系統(tǒng)產(chǎn)生四路信號，經(jīng)直流放大器放大后加載到壓電微動臺?？刂瞥绦虿捎肅51軟件編程，以中斷方式實現(xiàn)波形控制。 3、對壓電陶瓷驅動器電源的作用原理、設計特點及

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