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1、⑧中國近代第一所大學(xué)FOUNDEDlN1895天洋大薯TlANJINUNIVERSlTY碩士學(xué)位論文●學(xué)科專業(yè):作者姓名:指導(dǎo)教師:測(cè)試計(jì)量技術(shù)及儀器劉昀強(qiáng)傅星副教授天津大學(xué)研究生院2005年1月ABSTRACTMicrocantileverhasbeenwidelyappliedinmicrofieldThemechanicalcharacteristicsofmicrocantileverarehighlightedinthepro
2、cessofstudyandapplicationEspeciallyinatomicforcemicroscope(ArM),themechanicalcharacteristicsofmicrocantileverareimportanttOimprovethequalityofimagingandtheprecisionoftestingMoreover,themarkederrorofmechanicalcharacterist
3、icsofcommercialcantileveristoobigtoacceptTherefore,measurementofmicrocantilevermechanicalcharacteristicsisakeyproblemwhichshouldbesolvedInthedissertation,acantileveroutofplanemotionmeasuringsystembasedonmicroLaserDoppler
4、technologyissetupThemethodofindirectmeasurementofmicrocantilevermechanicalcharacteristicsisanalyzed,andexperimentsaboutmicrocantileverdynamiccharacteristicsandmechanicalcharacteristicsaredoneThemajorworksinthedissertatio
5、narefollowing:1ThemeasurementprincipleofmicroLaserDopplertechnologyiscarefullyanalyzedAcantileverout—ofplanemotionmeasuringsystemissetup,thedesignofhardware,softwareandmechanismareaccomplishedandexperimentsofmicrocantile
6、veraredoneusingthissystem2TherelationshipofresonancefrequencyandYoung’SmoduleisstudiedWiththesystem,experimentsofYoung’Smoduleofrectanglecantileverandtrianglecantileveraredone,andthespringconstantofthetwocantileversareca
7、lculatedThroughtheexperiments,itisprovedthatthisisaquickandefficientwaytotestmechanicalcharacteristicsofmicrocantilever3Systemsoftwarebasedonvirtlla】instrumentationtechniqueisdesigned,includingdrivingoutput,dataacquirean
8、ddataprocess,F(xiàn)astFourierTransformation(FFT),andfrequency—scanningUsingthissoftware,theresonance丘equencyatvarypositiononcantileveristestedandaconsistentresultofresonance療equencyisachieved4Severalexperimentsofcantilevermec
9、hanicalcharacteristicsaredonetheresuhiscomparedwiththedatacalibratedandtheerrorisanalyzedAnimprovingmethodiSsupposedforthetestofmicrocantilevermechanicalcharacteristicsKeywords:microcantilever,mechanicalcharacteristics,Y
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