超精密加工表面的白光掃描干涉測量系統(tǒng)研究.pdf

1、現(xiàn)代國防工業(yè)、航空航天、汽車制造領域的不斷發(fā)展,超精密加工零件的需求量不斷擴大,機械零件、電子器件、光學元件等不斷微型化、精密化對超精密加工表面形貌檢測技術提出了更高的要求。經(jīng)過對超精密加工零件表面形貌測量方法的分析與對比,本課題采用了基于白光掃描干涉測量原理的高精度測量方法。通過對被測表面進行白光掃描測量,記錄被測表面各點不同光程差位置的干涉信號,利用白光干涉信號峰值提取算法分別獲取各點干涉信號的零光程差位置,進而得到被測表面各點的高

2、度信息。
　　本論文對白光掃描干涉測量方法與系統(tǒng)進行了深入的研究,以實現(xiàn)超精密加工表面的高精度測量。研究工作主要包括以下幾個方面:
　　1、根據(jù)白光干涉的特性和原理,深入分析了不同類型的白光掃描干涉信號處理算法,通過對各類算法的分析和對比,提出了相移法與Morlet小波變換相結合的改進算法,并進行了驗證,證實了改進的算法更適合實際測量實驗。
　　2、設計了白光掃描干涉測量系統(tǒng),主要包括掃描方式、干涉顯微鏡、微位移器、光