復合功能薄膜β-BBO-α-BBO制備與性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文采用新型的制備工藝將優(yōu)良性能的β-BBO薄膜和新型的襯底材料α-BBO單晶有機的結合在一起，以探索新型的、符合激光技術發(fā)展需要的β-BBO/α-BBO復合非線性光學薄膜。 采用提拉法生長了摻鍶的α-BBO單晶，并對Sr2+∶α-BBO單晶襯底的物相、光學性能以及熱學性能進行了研究。 將氣相傳輸平衡技術創(chuàng)新性地用于β-BBO/α-BBO復合非線性光學材料的制備。分析了粉料配比、襯底取向、VTE處理溫度、處理時間對薄膜質

2、量的影響。 在KrF準分子激光沉積系統上進行了β-BBO/α-BBO復合非線性光學材料的制備。實驗選取β-BBO陶瓷作為靶材，研究了沉積溫度以及高溫退火對薄膜質量的影響。 實驗證明，適量Sr+的加入對α-BBO單晶的光學性能以及熱學性能無太大影響，反而有利于制備高質量α-BBO單晶。采用氣相傳輸平衡技術制備β-BBO/α-BBO復合非線性光學材料是可行的，實驗結果說明，當Li2CO3與Al2O3的混合物中Li2CO3為1

3、6.7mol％時，在850℃下、恒溫6小時、(001)面的α-BBO單晶襯底上生長的β-BBO薄膜質量較好，且沒有第二相產生。當采用脈沖激光沉積技術制備時，選取β-BBO陶瓷作為靶材替代β-BBO單晶靶材，在節(jié)約成本方面具有重要的意義。研究結果表明，采用這兩種方法制備β-BBO/α-BBO復合非線性光學材料，當襯底為(001)取向時，生長的β-BBO薄膜均呈c軸取向，薄膜的雙晶搖擺曲線半峰寬值FWHM值均在1000″左右，表明薄膜具有較

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