顯微散斑干涉系統(tǒng)的設計.pdf

1、電子散斑干涉技術簡稱ESPI(Electronic Speckle Pattern Interferometry)，是以激光技術、視頻技術、計算機圖象處理技術、全息干涉和散斑干涉技術等相結合的一種現(xiàn)代光學測量技術，被廣泛應用于無損檢測(NDT)，光學粗糙表面位移，變形測量，振動分析等領域。它具有全場、非接觸、高精度、高靈敏度、抗干擾能力強和工作穩(wěn)定可靠等優(yōu)點，一直受到人們普遍關注。電子技術、計算機技術、激光技術的發(fā)展極大地促使了散斑計量

2、技術的發(fā)展，使散斑計量技術向實時、高速及自動化方向發(fā)展并被廣泛應用于工業(yè)生產(chǎn)中。在研究和生產(chǎn)領域，微結構的測試都起著十分重要的作用。目前眾多測試方法大多針對光學平滑表面，這給微結構的科學研究和生產(chǎn)測試等應用都帶來了很大限制。
　　 本文在充分調研的基礎上，設計并組建了結合Linnik顯微干涉結構的顯微散斑干涉測試系統(tǒng)，通過反射率較高表面和散射表面的形貌測量對系統(tǒng)的性能進行驗證，并對散射表面的變形進行了初步的測試研究。本文的主要工

3、作包括以下幾個方面：
　　 ⑴對國內外MEMS測試方法和散斑測試技術做出充分的調研，著重研究了電子散斑干涉技術在微結構幾何量測量尤其是表面變形方面的應用；
　　 ⑵設計并組建了新的顯微散斑干涉系統(tǒng)，將Linnik顯微干涉結構布置在一個垂直于光學平臺的水平面內，消除了因被測表面和參考表面的旋轉帶來的系統(tǒng)誤差；
　　 ⑶完成了對表面反射率較高和表面散射的微結構的測量，進行系統(tǒng)的調試和評價實驗，得到較好的表面形貌測量實