調頻式電容位移傳感器高速測頻與非線性校正技術研究.pdf

1、電容式位移傳感器由于具有結構簡單、分辨率高、動態(tài)特性好、能實現(xiàn)非接觸式測量等特點，在精密加工、高精度定位、超精密測量等領域得到廣泛的應用。電容位移傳感器的輸出信號較小，而且輸入輸出特性存在一定的非線性，如何實現(xiàn)電容信號的提取以及對其輸入輸出特性進行有效的非線性處理就成了影響電容傳感器性能的關鍵。
　　本文基于調頻式電容位移傳感器輸出信號的特點，對調頻信號頻率測量技術以及非線性校正技術進行深入了的研究，具體研究工作如下：
　　

2、首先，在對頻率測量的方法進行歸納、總結的基礎上，設計了以現(xiàn)場可編程門陣列(FPGA)為核心的頻率測量模塊，對多周期同步測頻進行了方法改進，實現(xiàn)FPGA內部多周期同步測頻邏輯代碼的編寫；
　　其次，對基于神經(jīng)網(wǎng)絡的非線性校正以及曲線擬合技術進行了研究，設計了基于傅立葉級數(shù)神經(jīng)網(wǎng)絡的非線性校正算法并進行仿真，實現(xiàn)了算法向DSP芯片中程序的移植。
　　再次，研制了基于TMS320VC5402芯片的電容位移傳感器非線性校正和信號處理