ppt口述材料

1、1.研究背景真空鍍膜的應(yīng)用廣泛真空鍍膜屬于物理鍍膜，比化學(xué)鍍膜性能優(yōu)秀2.設(shè)計任務(wù)實現(xiàn)對工藝參數(shù)的監(jiān)控和控制3.真空泵分子泵和擴散泵可以到達的真空度范圍是差不多的，兩個是同級的。但兩個泵又各有不同的優(yōu)點和缺點，所以在市場上兩者是并存的。1：分子泵體積小，耗能小，對真空室的污染比較小。但是相比擴散泵，分子泵的抽氣速度比較低，維護成本比較高(精密)。2：擴散泵可以設(shè)計為很大的抽速，購置成本比較低。但是擴散泵體積比較大，能耗高，會對真空室有很

2、重的油污染，一般要配合液氮(氦)冷阱用(運營成本高)，不環(huán)保。按趨勢來講，高真空泵還是向分子泵方向在發(fā)展，但是由于分子泵葉片轉(zhuǎn)速很高，所以對軸承有很高的要求，國內(nèi)廠家生產(chǎn)的分子泵穩(wěn)定性不是很好，國外的分子泵價格又過高，所以國內(nèi)工業(yè)生產(chǎn)上一般還是選用擴散泵。只有在一些高端的產(chǎn)業(yè)像半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和科研單位才會用到分子泵4.在較寬的壓強范圍內(nèi)有較大的抽速；起動快，能立即工作；對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感；轉(zhuǎn)子不必潤滑，泵腔內(nèi)無油；振動小，

3、轉(zhuǎn)子動平衡條件較好，沒有排氣閥；驅(qū)動功率小，機械摩擦損失??；結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積??；運轉(zhuǎn)維護費用低。因此，羅茨泵在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)部門得到廣泛的應(yīng)用。1.研究背景真空鍍膜的應(yīng)用廣泛真空鍍膜屬于物理鍍膜，比化學(xué)鍍膜性能優(yōu)秀2.設(shè)計任務(wù)實現(xiàn)對工藝參數(shù)的監(jiān)控和控制3.真空泵分子泵和擴散泵可以到達的真空度范圍是差不多的，兩個是同級的。但兩個泵又各有不同的優(yōu)點和缺點，所以在市場上兩者是并存的。1：分子泵體積小，耗能小，對真空室的

4、污染比較小。但是相比擴散泵，分子泵的抽氣速度比較低，維護成本比較高(精密)。2：擴散泵可以設(shè)計為很大的抽速，購置成本比較低。但是擴散泵體積比較大，能耗高，會對真空室有很重的油污染，一般要配合液氮(氦)冷阱用(運營成本高)，不環(huán)保。按趨勢來講，高真空泵還是向分子泵方向在發(fā)展，但是由于分子泵葉片轉(zhuǎn)速很高，所以對軸承有很高的要求，國內(nèi)廠家生產(chǎn)的分子泵穩(wěn)定性不是很好，國外的分子泵價格又過高，所以國內(nèi)工業(yè)生產(chǎn)上一般還是選用擴散泵。只有在一些高端的