潔凈室標準規(guī)格說明

1、潔凈室標準規(guī)格說明（一）潔凈室標準規(guī)格說明（一）目前世界各國雖有自訂規(guī)格，但普遍還是采用美國聯邦標準209為多，今就209D及209E和世界上其他各國之所訂標準再做更進一步之介紹與相互比較。表11為美國聯邦標準209D之潔凈室規(guī)格。表11美國聯邦標準209D潔凈室規(guī)格至于209E和209D等最大之不同點在于209E表示單位增加了公制單位，即潔凈室等級以“M”字頭表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此類推，其目的在于

2、配合國際公制單位之標準化。M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中≧0.5um之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，而取指數為之；若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間（即非整數，則以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表12即為1992年9月新頒布之美國聯邦標準209E之內容，前述之M字母后的數字，可從表中0.5um列的數值中求出，讀者可試算之。表12美國聯邦標準209E表14德國規(guī)格表表15為美國聯邦標準209D標準粒子之數目