雙工件臺六自由度微動臺運動控制研究.pdf

1、雙工件臺作為光刻機運動控制系統(tǒng)關鍵機構，在光刻機的硅片對準、調平調焦和曝光刻片過程中起到了重要作用。六自由度微動臺作為雙工件臺的核心部件，是系統(tǒng)達到納米級伺服定位精度的關鍵。本文主要針對雙工件臺六自由度微動臺進行運動控制研究。
　　首先，對雙工件臺結構進行詳細的分析，對宏動臺模塊，微動臺模塊和換臺模塊三個子模塊進行控制系統(tǒng)設計，最后分析了工件臺微動臺系統(tǒng)的指標要求，確定典型三階S曲線為微動臺參考曲線。
　　其次，根據微動臺的

2、幾何尺寸進行六自由度測量解耦，將微位移傳感器的位置測量信息轉化成曝光點的六自由度位移信息；并將微動臺動力學耦合分為位置相關耦合和力相關耦合兩部分進行動力學解耦，在此基礎上構建有效的微動臺六自由度動力學模，通過仿真實驗證明六自由度動力學解耦模型的有效性。
　　再次，針對微動臺存在的干擾進行分析，并設計了基于指數(shù)趨近律的傳統(tǒng)滑?？刂扑惴▽Ω蓴_進行抑制，通過仿真分析并與PID控制進行對比，證明了滑模控制在抑制干擾方面的良好作用；針對傳統(tǒng)