硅襯底微波集成電路傳輸線(xiàn)的電特性分析.pdf_第1頁(yè)
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1、上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文硅襯底微波集成電路傳輸線(xiàn)的電特性分析姓名：劉穎申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：電磁場(chǎng)與微波技術(shù)指導(dǎo)教師：毛軍發(fā)2002.1.1化鎵作為微波集成電路襯底材料的可行性。同時(shí)，作者還自己動(dòng)手設(shè)計(jì)了微波集成電路流片所需的掩模版，在中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所凈化實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行了兩次流片實(shí)驗(yàn)，制作了微波集成電路傳輸線(xiàn)一一微帶線(xiàn)、耦合微帶線(xiàn)、共面線(xiàn)、耦合共面線(xiàn)等。以及微波無(wú)源元件一一微帶耦合濾波器，并對(duì)部分傳輸線(xiàn)的電特性進(jìn)行了測(cè)

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