LD泵浦全固態(tài)紫外激光器的研究.pdf

1、LD泵浦全固態(tài)激光器從二十世紀(jì)八十年代以來(lái)獲得長(zhǎng)足的進(jìn)步，紫外激光器因其在人眼安全波段，光刻的主要光源等重要應(yīng)用，一直以來(lái)就是人們研究的熱點(diǎn)。LD端面泵浦的全固態(tài)紫外激光器效率高、結(jié)構(gòu)緊湊、光束質(zhì)量好等優(yōu)點(diǎn)而取代準(zhǔn)分子激光器成為研究熱點(diǎn)。作者也在紫外方面從理論和實(shí)驗(yàn)方面進(jìn)行了深入細(xì)致的研究： 在被動(dòng)調(diào)Q理論的指導(dǎo)下，充分考慮了被動(dòng)調(diào)Q品體Cr：YAG的激發(fā)態(tài)吸收效應(yīng)對(duì)脈沖激光器性能的影響，延伸了Degnan的被動(dòng)調(diào)Q優(yōu)化理論，直

2、接給出了優(yōu)化設(shè)計(jì)過(guò)程中我們最關(guān)心的被動(dòng)調(diào)Q晶體的小信號(hào)透過(guò)率與輸出耦合鏡的透過(guò)率關(guān)系，簡(jiǎn)化了設(shè)計(jì)程序。在高斯光束倍頻理論的指導(dǎo)下，改進(jìn)了傳統(tǒng)的聚焦方式，使結(jié)構(gòu)更為緊湊下，獲得了更高的紫外功率輸出，并且該結(jié)構(gòu)可同時(shí)滿(mǎn)足三倍頻，四倍頻的要求。在連續(xù)紫外的研究中，充分考慮到激光器輸出鏡的最佳透過(guò)率與倍頻轉(zhuǎn)換效率之間的關(guān)系，詳細(xì)了計(jì)算了一定泵浦功率時(shí)的輸出鏡最佳透過(guò)率，并由此優(yōu)化倍頻晶體長(zhǎng)度。 設(shè)計(jì)了一臺(tái)高性能的脈沖1064nm紅外激光

3、器，單脈沖運(yùn)轉(zhuǎn)，在輸入泵浦為14.5W的時(shí)候，峰值功率高達(dá)10kW以上、脈寬10ns、脈沖能量為100μJ且脈沖序列穩(wěn)定，單脈沖輸出。腔外一次聚焦，兩次頻率變換，獲得了340mW的355nm脈沖輸出，290mW的266nm脈沖輸出，均為同等情況下國(guó)內(nèi)所見(jiàn)報(bào)道的最好結(jié)果。 采用簡(jiǎn)單的兩鏡腔結(jié)構(gòu)，將二倍頻、三倍頻頻率變換晶體同時(shí)放在腔內(nèi)，還實(shí)現(xiàn)了355nm連續(xù)激光的輸出，在泵浦功率為5.6W的時(shí)候，輸出功率高達(dá)15mW，這是目前報(bào)道